基于业界主流的多晶硅(PolySiON)工艺和后栅极的高介电常数金属栅极(Gate-last HKMG)工艺,推出28纳米低功耗(28nm LP)、28纳米高效能精简型增强版(28nm HKC+)和28纳米NP split gate工艺(28nm HKL+)三种工艺平台供客户选择。
1. 28nm LP
28纳米低功耗(28nm LP)工艺技术提供1.05V/1.8V(2.5V)标准工作电压。相对前代40纳米工艺,想通性能下面积缩小50%,同样速度下功耗减少30%。并且针对超低功耗需求做特定优化,成功开发特制单元库IP,进一步大幅降低漏电。提供包括射频在内的配套设计服务体系,应用于手机、平板电脑、智能电视、机顶盒、网络集成、3G/4G蜂窝基带、无线连接装置、物联网及其低功耗应用,服务于全球芯片设计公司。
2. 28nm HKC+ & 28nm HKL+
采用后栅极的高介电常数金属栅极(gate-last HKMG)工艺,开发28纳米高效能精简型工艺技术(28nm HKC),核心电压为0.9V,输入输出电压支持1.8V和2.5V。进一步优化的28纳米高效能精简型增强版工艺技术(28nm HKC+)与28nm HKC相比,速度进一步提升15%,漏电降低30%。28nm HKC+目标产品包括智能手机、平板电脑、穿戴装置、物联网集成、射频芯片、消费性产品的中央处理器及各类系统单芯片应用。28nm HKL+则提供更优于28nm HKC+的高性能工艺,采用N/P split gate工艺,有其工艺的特定优势。
3. 工艺器件选择
Technology Offering | 28nm LP | 28nm HKC+ | 28nm HKL+ | |
Vdd | 1.05V | 0.9V | 0.9V | |
Core Device | Ultra-low Vt | √ | √ | |
Low Vt | √ | √ | √ | |
Standard Vt | √ | √ | √ | |
High Vt | √ | √ | √ | |
Ultra-high Vt | √ | √ | ||
Extreme-high Vt | √ | √ | ||
1.8V IO Device | 1.8V UD 1.2V | √ | √ | √ |
1.8V UD 1.5V | √ | √ | √ | |
Standard 1.8V | √ | √ | √ | |
2.5V IO Device | 2.5V UD 1.8V | √ | √ | √ |
Standard 2.5V | √ | √ | √ | |
2.5V OD 3.3V | √ | √ | √ | |
SRAM | SP | √ | √ | √ |
DP | √ | √ | √ |